配合我國科技發展潮流，半導體產業為台灣最重要的科技產業，積極培訓基礎科學人才，本校奉教育部核准設立半導體材料科學碩士班。結合應用物理系、應用化學系成立功能性材料中心，進行新穎材料的研究與應用，將有助於本碩士班發展新世代半導體技術成為一大特色。未來可從事科技產業或繼續深造，進而成為社會中堅與造福人群。

基於上述理念訂定本所的教育目標為：

• 充實學生物理及半導體相關學科之專業知能。
• 培育學生半導體材料科學等專業技能。
• 培育具備語言溝通與資訊整合運用之能力。
• 培育學生具備發掘問題、分析及解決能力。
• 培育學生未來發展所需之國際視野。