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理學院半導體材料科學碩士班蔡宇硯同學的研究成果‘’極紫外光微影製程布拉格反射鏡之光學設計(Optical design of reflective Bragg mirrors for EUV photolithography)‘’以第一作者發表於國際光學期刊 [Journal of Optics, 26(4), 045803, 2024]。
期刊連結:https://doi.org/10.1088/2040-8986/ad2e20